Технические дисциплины - Микроэлектроника |
лекц.8.
1.2.Параметры интегрального n-p-n транзистора с изоляцией p-n переходом
Рис. ... Концентрация легирующих примесей и эффективная
Толщина активной области базы 0.2 – 0.4 мкм. В базовом слое имеется два участка: с ускоряющим и тормозящим полем (для электронов). Наличие участка с тормозящим полем на 20-30% увеличивает время пролета электронов по базовому слою.
Типичные параметры интегрального n-p-n транзистора, полученного с помощью фотолитографии, обеспечивающей lmin = 2-4 мкм.
Коэффициент усиления транзистора В = 100 – 200.
Предельная частота – 500 МГц.
Емкость коллекторного перехода – 0,3 ¸ 0,5 пФ.
Пробивное напряжение коллектор-база 40 - 50 В.
Пробивное напряжение эмиттер-база 6 ¸ 7 В.
Сопротивление скрытого слоя Rcc ≈ 8 ¸ 15 Ом/□.
(скрытый слой уменьшает сопротивление коллекторного слоя транзистора.)
Сопротивление коллекторного слоя Rkc ~ 500 Ом/□.
Сопротивление базы Rб ~ 150 ¸ 200 Ом/□.
Сопротивление эмиттерного слоя Rэ ~ 5 ¸ 15 Ом/□.
Пояснение к размерности Ом/□.
R = ρ ∙ l / S = ρ ∙ l / (a ∙ d), где l – длина, а – ширина, d – толщина слоя. При этом если a = l, то удельное сопротивление пленки квадратной формы R = ρ / d и выражается в единицах нее Ом . м, а Ом / □. Это продольное сопротивление поверхностного слоя квадратной формы.
Паразитные параметры.
К паразитным параметрам относится.
1. Паразитная емкость p-n перехода коллектор-подложка (Ck-п). Эта ёмкость вместе с сопротивлением коллекторного слоя (rкол) образует R-C-цепь, подключенную к активной области коллектора, что снижает быстродействие транзистора. И оказывает существенное воздействие на работу транзистора в импульсном режиме.
t = t0 + (Ck + Ck-п) ∙ (R + rкол) – время включения, где t –время срабатывания транзистора, t0 – время дрейфа не основных носителей заряда (пролёта электронов) через базу, Ck – ёмкость перехода коллектор-база, Ck-п - ёмкость перехода коллектор-подложка, R-внешне сопротивление в цепи коллектора, rкол- сопротивление коллекторного слоя.
2. Паразитный p-n-p транзистор, образованный пассивной областью базы, областью коллектора и частью подложки, расположенной под пассивной областью базы.
Если основной n-p-n транзистор работает в активном режиме (активный режим – на коллектор подается обратное напряжение, на p-n-переход база- эмиттер прямое), то паразитный транзистор находится в режиме отсечки и не оказывает влияния на работу основного. В этом случае на ухудшение параметров влияет только Ck-п.
Но если основной транзистор находится в инверсном режиме или в режиме насыщения (двойной инжекции), то паразитный транзистор находится в активном режиме, следовательно, часть базового тока основного транзистора уходит в подложку. Вследствие этого растет потребляемая мощность при работе транзистора в ключевом режиме.
В активном режиме работы транзистора ухудшает его параметры только емкость перехода коллектор-подложка, в которой можно выделить две составляющие: емкость боковой поверхности (Сбок. ст.) и ёмкость донной части p-n перехода коллекторный слой подложка (Cдна).
Cк-п = Cдна + Сбок. ст. при чём Cдна < Сбок. ст.
Удельные ёмкости этих частей транзистора равны: Суд (дно) ≈ 100 пФ / мм2. Суд (ст) ≈ 250 пФ / мм2. Так как концентрация примеси по мере приближения к поверхности увеличивается, то уменьшается толщина обедненного слоя p-n перехода где: Uкр - контактная разность потенциалов на p-n переходе, N*= Nd NA / Nd + NA. Величина L* определяет величину барьерной ёмкости p-n перехода C = εε0S/L, ёмкость увеличивается при уменьшении N*. А поскольку концентрация примесей на боковых частях транзистора существенно выше, чем на донной части то это и предопределило использование комбинированного способа изоляции элементов интегральных схем.
4.1.2.3. Работа n-p-n транзистора в ключевом режиме
Базовым элементом цифровых интегральных схем является логический вентиль (цифровой инвертор). Основой цифровых логических схем является электронный ключ.
Рабочими состояниями транзистора в ключевом режиме являются:
- режим отсечки;
- режим двойной инжекции (насыщения).
Транзистор в процессе работы переходит из одного состояния в другое, что соответствует двум состояниям переключающего устройства: «включено» и «выключено».
Режим отсечки наблюдается тогда, когда на вход подается напряжение меньше чем необходимо, для того чтобы открылся p-n переход эмиттер-база (Uвх < Uвх (пороговое)). Пороговое напряжение для кремниевых p-n переходов 0,6-0,7 вольта. Коллекторный ток (Iк0) очень мал и равен току обратно смещённого p-n перехода коллектор-база. Сопротивление транзистора значительно больше чем сопротивление нагрузки и на выходе ключа выходное напряжение (Uвых) максимально и близко напряжению источника питания. Этот режим соответствует области «А» на входной характеристике и точке «А» на выходной.
Для перевода транзистора в режим двойной инжекции на вход подается входное напряжение больше порогового (Uвх > Uвх (пороговое)), такое, которое обеспечивает быстрый рост базового (Iб) и коллекторного (Iк) токов. Максимальное значение коллекторного тока (Iк (мах)) определяется сопротивлением нагрузки в цепи коллектора (Rн) и напряжением источника питания (Uп). Iк (мах) = (Uп – Uк (нас)) / Rн где Uк (нас) – напряжение на коллекторе в режиме насыщения (двойной инжекции). Режиму насыщения соответствуют: область «В» на входной характеристике и точа «В» на выходной характеристике.
В ключевом режиме транзистор длительное время работает только в двух режимах: двойной инжекции и отсечки, а нормальный активный режим является промежуточным при переходе из одного устойчивого состояния в другое. Время перехода должно быть очень малым. И чем быстрее происходит этот переход, тем лучше свойства ключа. Связано это с тем, что «львиная» доля мощности выделяется в транзисторе только в течение перехода из открытого состояния к закрытому и обратно (на участке характеристики соответствующей активному режиму работы транзистора). Кроме того, чем быстрее будет происходить переключение, тем выше будет быстродействие инвертора.
Если о ключе говорить формально, как о логическом элементе, то можно сказать, что на вход подают импульсы логического «0» или «1».
Если на вход подают импульсы логического «0», то эмиттерный переход закрыт, транзистор находится в режиме отсечки и его внутреннее сопротивление намного больше сопротивления нагрузки. Тогда на выходе – высокий уровень напряжения – логическая единица «1».
Если на входе логическая единица «1» (напряжение, открывающее транзистор), то попадаем в точку В – режим насыщения (двойной инжекции), сопротивление транзистора мало, и на выходе имеем логический «0». Данный элемент является логическим элементом «НЕ».